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低温激光退火多晶硅薄膜的光学常数研究
用分光反射光谱(SR)和分光椭偏光谱(SE)来分析低温激光退火多晶硅薄膜的光学特性.利用多层光学和Braggeman有效介质近似模型(B-EMA......
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